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iXH 干泵系列为严苛的工艺能力、可靠性和更低的拥有成本树立了新标准。

  1. 宽广的温度范围使您可以对真空设备进行优化,更大地减少冷凝和电镀的副产物累积
  2. iXH Mk2 干泵可在严苛的工艺中提供更长的使用寿命,并且可以显著提高功效
  3. 创新的密封技术可以延长制程寿命并降低泄漏风险
  4. 采用 Xcede 技术,增强了耐腐蚀性。