iXL

iXL 系列是系列低能耗紧凑型干泵，适用于轻量应用，例如晶片处理、PVD 和计量。

1. 快速腔体抽空和极低功耗 
2. iXL600(N) 和 iXL1000(N) 干泵是轻量应用中非常小且相当安静的泵 
3. iXL600M 和 iXL1000M 两种型号经过工艺加固，专门设计用于电介质（氧化）蚀刻和其他类似应用 
4. iXL600(N) 和 iXL1000(N) 干泵具有高抽取速度和低能耗的特点
5. iXL900R 是目前同类产品中速度相当快的负载锁定泵，用于 FPD 负载锁定应用。使用这种新型泵，客户可以显著降低其运营成本和安装时间，特别适用于等离子体气相沉积 (PVD) 应用的大负载锁定腔室。此外，每个负载锁定腔室需要的泵会较少，从而减少了客户的安装时间、系统化成本、维护和公共设施消耗。
6. “绿色模式”可减少闲置期间的公共设施使用、降低成本并有助于提高环境绩效