ATLAS - 无与伦比的废气处理效能

Edwards 的 Atlas™ 具有出色的可靠性、极佳的粉体处理能力和耐腐蚀性，可为半导体、平板显示器与太阳能产业提供废气处理的效能。

Atlas 废气处理技术.. 一系列燃烧式废弃处理解决方案 - 针对您的工艺而设计：

与上一代的气体减排装置相比，Atlas™ 系统的燃料消耗低。我们使用成熟的 Alzeta™ 内燃式燃烧器技术来显著降低拥有成本。 Atlas 系统具有一至六个进气口，并提供多种配件，包括温度管理系统（TMS），可处理的流量高达 1，200 slm。它们被设计为易于使用，并能够进行更有效的维护。

爱德华的内燃式燃烧技术

自1994年以来，内燃式燃烧器已被大多数主要的半导体制造商所采用，已成为气体减排的世界标准。

我们独特的燃烧技术在均匀的燃烧温度下运行。这样可确保极低的背景排放，并且气体的向内流动可防止制程材料与腔体壁接触，从而尽可能地减少了固体阻塞。燃烧器材料的独特成分可确保卓越的耐腐蚀性，并有助于为Atlas提供无与伦比的可靠性和安全性。

在我们先进的环境创新中心，我们经过流程调整的解决方案可实现出色的效能，并经过现场验证和第三方验证。减排 DRE 通常不仅仅局限于全球和地方法规：

TLV 以下的 SiH₄ 和其他卤化物

NF₃︰ >99% / <TLV

F2︰ : >99% / <TLV

CF₄︰ >90%

其他全氟化合物.. >99%

凭借广泛的装机使用群、无与伦比的全球应用团队和服务支持，我们可以提供专为您的流程需求设计的优化解决方案。与我们的团队联络，我们可以共同努力以实现适合客户的解决方案。