爱德华 Proteus

爱德华 Proteus 可以有效地处理 PFC 和其他导致全球变暖的气体，而无需使用天然气或其他碳氢化合物。

Proteus 是一种低功耗、容易使用且具有成本效益的解决方案，可减少半导体制造的碳足迹。

• 低功耗、高效电浆技术
• 电浆功率调制
• 氮氧化物排放少
• 长MTBS
• 藉由 Proteus Dual 保障正常运行时间

1、独特的低功耗电浆技术可实现 PFC 气体 （例如 CF₄） 和其他导致全球变暖的气体 （例如 SF₆、NF₃ 和 N₂O） 的高破坏率 （DRE）。 这使 Proteus 成为减少半导体工艺中导致全球变暖之气体的成本效益非常搞的解决方案。

2、Proteus Plasma 的运行功率可以根据进气负载完全可调，从而使用户能够尽可能地降低功耗并保持相当好的处理效率。 透过与制程工具和自动电浆功率调制配合，为降低运行成本同时保持高效的环境绩效提供了更多机会。

3、减少 PFC 气体需要高温以促进 NOx 气体的形成。 Proteus 电浆技术的开发旨在尽可能减少「热力型氮氧化物」的排放，现已成为领先的「低氮氧化物」PFC 减排系统之一。

4、PFC 分子的破坏往往会透过产生有毒和腐蚀性的水溶性化合物来增加酸负荷。 Proteus 电浆炬和湿式洗涤台经过专门设计，可尽可能地减少组件腐蚀。 Proteus 结合出色的粉末处理能力，能够实现较长的平均停机间隔时间，同时在制造厂保持安全的工作环境。

5、Proteus Dual 提供完全集成的「备份」解决方案，以帮助确保减排，而无需复杂的管道和接合。 Proteus Dual 是一种经济高效、易于安装的解决方案。 它有助于维持过程的正常运行时间，减少占地面积和安装成本，同时提高半导体无尘室的安全性。