Spectra - 满足您的环保需求
Spectra 排气管理系统是经济高效、可靠和高效能的减排解决方案，适用于新一代平板显示器 （FPD） 和太阳能电池制造工艺。
废气处理
• 独特的 4 级燃烧技术
• 高效的 SiH4 减排
• 高 H2 流量减少能力
• 出色管理 NF3 / F2 的高流量
• 高 NH3 减排能力
•减排和颗粒物管理的模块化设计
• 除粉效率达 80%
酸性气体洗涤
• 整合式湿式洗涤器
• 水循环装置，可优化耗水量
粉末捕获
Spectra ZW2 – 水冷式废气处理与颗粒物去除
• 模块化湿式静电除尘器 （WESP）
• 颗粒物去除率达 99%
• 高粉末装载处理能力
