爱德华气体反应器柱（ GRC）
经过专门设计，可在半导体工艺中安全去除真空泵浦排气中的有害气体。
GRC 是独特的热床反应器，可以化学方式破坏有毒气体。 它可在一个系统中处理非常广泛的气体混合物，而不会产生新的一次性污水问题。 专有的无机颗粒混合物被保留在焊接的不僵钢滤芯中。 将滤芯插入管式电热器中，即可将混合物保持在高温下。 进入滤芯的有害废气会完成化学反应，然后转化为稳定的惰性无机盐。
- 干式系统，可直接连接到真空泵浦排放口
- 没有水分回流的风险
- 在解吸有毒气体方面不存在问题
- 将气体以化学方式完全转化为稳定的惰性盐
- 没有要处理的有毒固体或液体废物
- 用过的滤芯被认证为非危险废弃物
- 用过的滤芯也可以回收，从而实现零浪费
- 滤芯更换简单，无危险
- 燃料和火焰不存在与所产生的有毒副产物相关的风险
- 所需的服务连接非常少 进水管工作温度可保持在摄氏 120 度，以减少固体沉积
